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产品简介
l 可量测多种材料薄膜
l 提供薄膜可靠和精确的厚度、折射率、成分比率和应力测量
l 输出产能高，具有较高的性价比
l 光斑尺寸更小
l 可量测范围更宽广，超厚膜和超薄膜量测能力更稳定
l 全新椭圆偏振光路设计
l 机械运动性能可靠，稳定性表现**
l 功能丰富、易用的软件和算法
l 全面支持工厂自动化要求
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